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湖北高隆磷化工讲解磷酸运输注意事项
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一、电子级磷酸用途分析：
1、用于基片涂胶前的清洗
2、用于光刻过程中的蚀刻及后去胶；
3、用于硅片本身制作过程中的清洗及绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、 导体膜蚀刻、 有机材料蚀刻等
二、电子级磷酸制备工艺
1、用高纯磷制备电子级磷酸的工艺
2、用高纯制备电子级磷酸的工艺
3、用---制备电子级磷酸的工艺
四、电子级磷酸等级
e1为普通电子级磷酸
e2为高纯电子级磷酸
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